液晶表示装置の欠陥修正方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-233948
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082735
出願日： 1992年09月01日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：

【要約】【目的】表示装置において、表示面の透光性を損なうことなく、修正部分が陰として視認されない表示装置の欠陥修正方法を提供する。【構成】表示面が透明板を有する表示装置において、該表示面上の欠陥部に、レーザー光のサイズを変化させてArFエキシマレーザー光を照射する。または、レーザー光のエネルギー分布を中央部が高く、外周部が低くなるようにして照射する。このことにより、中央部から周辺部にかけて徐々に浅くなっていく照射面が形成される。よって、照射部分の輪郭が不明瞭となり、輪郭が陰として視認されにくい良好な加工面を得ることができる。また、ArFエキシマレーザーは、短波長であるため、より細かい分子オーダーでの微細加工が可能であり、熱による材質の変化がない。よって切断面が極めてシャープであり、粗面化が起こらない。従って、表示面の透光性を損なわずに加工を行うことができる。

請求項（抜粋）：

表示面が透明板からなる液晶表示装置において、該表示面上の欠陥部に、ArFエキシマレーザー光を、その欠陥部におけるビーム寸法を複数値に変化させて照射し、該欠陥部を除去する液晶表示装置の欠陥修正方法。

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