特許

J-GLOBAL ID：200903096054854385

酸化錫前駆体塗布液の製造方法および酸化錫膜の製造方法

発明者： 林 紅 ,  朝隈 直子 ,  福井 俊巳
出願人/特許権者： 株式会社関西新技術研究所
代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-075446
公開番号（公開出願番号）：特開2000-264633
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年09月26日
要約：

【要約】【課題】 安定化剤を用いなくても、均質な成膜が可能であるような均質な酸化錫前駆体塗布液を調製できる方法、および、その前駆体塗布液を使用して、加熱処理を行わなくても透明導電性の酸化錫の薄膜を得ることができる方法を提供する。【手段】 錫アルコキシドを溶剤に添加した溶液を加水分解させて酸化錫前駆体塗布液を製造する場合に、溶液の加水分解を-50°C以下の温度で行う。酸化錫前駆体塗布液を被塗布物の表面に塗布して成膜した後、薄膜に対し波長が360nm以下である光を照射して薄膜を結晶化させる。

請求項（抜粋）：

錫のアルコキシドまたは金属塩を溶剤に添加した溶液を加水分解させて酸化錫前駆体塗布液を製造する方法において、前記溶液の加水分解を-50°C以下の温度で行うことを特徴とする酸化錫前駆体塗布液の製造方法。

IPC (2件)：

C01G 19/00 ,  C03C 17/25

FI (2件)：

C01G 19/00 A ,  C03C 17/25 A

Fターム (4件)：

4G059AA01 ,  4G059AC12 ,  4G059EA02 ,  4G059EB07