特許

J-GLOBAL ID：200903096055379699

静電アクチュエータ

発明者： 尾崎 元美 ,  高橋 淳一 ,  堀口 浩幸
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-341586
公開番号（公開出願番号）：特開平5-176558
出願日： 1991年12月25日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】【目的】 移動子の平面的な移動の自由度を広げると共に、回転軸方向への移動、及び回転方向への駆動を自由に行うことが可能な静電アクチュエータを提供する。【構成】 ベース13と、このベース13上に配線されたマトリクス型のスイッチング回路と、このスイッチング回路によって電位が制御される表面電極部16と、この表面電極部16上に積層された絶縁フィルムとよりなる固定子11を設け、この固定子11の絶縁フィルム上に置かれた絶縁体膜と、この絶縁体膜上に積層された抵抗体膜とよりなる移動子12を設け、表面電極部16の電位を変化させ移動子を駆動する移動子駆動制御手段を設けた。

請求項（抜粋）：

ベースと、このベース上に配線されたマトリクス型のスイッチング回路と、このスイッチング回路によって電位が制御される表面電極部と、この表面電極部上に積層された絶縁フィルムとよりなる固定子を設け、絶縁体膜と、この絶縁体膜上に積層された抵抗体膜とよりなる移動子を前記固定子上に設け、前記表面電極部の電位を変化させ前記移動子を駆動する移動子駆動制御手段を設けたことを特徴とする静電アクチュエータ。