特許

J-GLOBAL ID：200903096059703547

大気中で安定なアルカリ土類金属錯体

発明者： 岡崎 高志 ,  徳留 功一
出願人/特許権者： 東ソー・アクゾ株式会社
代理人 (1件)： 箕浦 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-324969
公開番号（公開出願番号）：特開平5-098444
出願日： 1991年10月08日
公開日（公表日）： 1993年04月20日
要約：

【要約】【構成】 一般式(式中Mはアルカリ土類金属であり、R1,R2,R3及びR4は同一又は異なる低級アルキル基及び/又は芳香族基を示す)で示されるアルカリ土類金属錯体とオルトフェナントロリン誘導体の付加体又はクラウンエーテル類の付加体からなる金属錯体。【効果】 上記金属錯体は大気中でも安定しており酸化物薄膜形成用の材料として有用である。

請求項（抜粋）：

一般式(式中Mはアルカリ土類金属であり、R1,R2,R3,R4は同一か又は異なる低級アルキル基および/または芳香族基を示す)で示されるアルカリ土類金属錯体とオルトフェナントロリン誘導体の付加体またはクラウンエーテル類の付加体から成ることを特徴とする酸化物薄膜形成用金属錯体。

IPC (3件)：

C23C 16/40 ,  C01F 11/00 ,  C07C 49/12