ダイシング方法及びそれに用いるダイシング用粘着テープ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-094209
公開番号（公開出願番号）：特開平6-310598
出願日： 1993年04月21日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】環境破壊となる有機溶剤を使用する必要がなく、またワックス塗布等の手間がなく、素子小片に衝撃を与えることがなくてセラミックス等の脆いウエハにも適用できるダイシング方法。【構成】耐水性を有するフィルム状支持体1上に、アクリル系粘着剤100重量部に対して水溶性化合物0.1〜50重量部を含有する粘着層2を設けた粘着テープ3を用いる。この粘着テープにウエハ4を貼着してウエハ4をダイシングして素子小片5に分離した後、温水又は沸騰水に浸漬して粘着層2中の水溶性化合物を溶解させて素子小片5をテープから剥離する。

請求項（抜粋）：

耐水性を有するフィルム状支持体上に粘着剤及び水溶性化合物を含有する粘着層が設けられているダイシング用粘着テープに被ダイシング物を貼着した後、被ダイシング物を完全にダイシングし、次いでこれを温水又は沸騰水中に浸漬して前記粘着層中の水溶性化合物を溶解させて被ダイシング物をテープから剥離することを特徴とするダイシング方法。

IPC (3件)：

H01L 21/78 , C09J 7/02 JKK , C09J 7/02 JLE

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