特許

J-GLOBAL ID：200903096061674694

回折格子の製造方法

発明者： 根岸 光正 ,  高瀬 裕嗣 ,  滝沢 英樹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-132975
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005811
出願日： 1994年06月15日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】ガラス性の高性能な回折格子を、大量に、安価に製造する方法を提供する。【構成】石英ガラス基板3の表面を回折格子の形状に加工し、基板3上に金属薄膜4を成膜し、基板を熱軟化したガラス部材に押し当てて、ガラス部材の表面に回折格子の形状を転写する。

請求項（抜粋）：

石英ガラス基板の表面を回折格子の形状に加工する工程と、前記基板上に金属薄膜を成膜する工程と、前記基板を熱軟化したガラス部材に押し当てて、ガラス部材の表面に前記回折格子の形状を転写する工程とを有することを特徴とする回折格子の製造方法。