特許
J-GLOBAL ID：200903096065156957
キャビティ付きセラミック多層ブロックの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-011568
公開番号（公開出願番号）：特開平6-224559
出願日： 1993年01月27日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【目的】 キャビティ付きセラミック積層体を弾性体によってプレスするとき、キャビティの不所望な変形が弾性体の接触によりもたらされることを抑制する。【構成】 キャビティ穴20,28,32が設けられた複数のセラミックグリーンシート19,27,31をそれぞれ弾性体23によってプレスするとき、セラミックグリーンシート19,27,31のそれぞれの全主面に接する大きさを有するとともにキャビティ穴20,28,32の各々と同等かわずかに小さい穴21,29,33を形成した剛体板22,30,34を、弾性体23とセラミックグリーンシート19,27,31の各々との間に介在させる。
請求項（抜粋）：
キャビティとなるキャビティ穴が設けられた第1のセラミックグリーンシート、およびキャビティ穴が設けられていない第2のセラミックグリーンシートを用意し、前記第2のセラミックグリーンシートの上に前記第1のセラミックグリーンシートを積重ね、前記第1のセラミックグリーンシートの全主面に接する大きさを有するとともに、前記キャビティ穴と同等かわずかに小さい穴を形成した剛体板を用意し、前記剛体板を前記第1のセラミックグリーンシートの上に載せ、前記剛体板の上に弾性体を載せ、前記剛体板を介して、前記弾性体から前記第1のセラミックグリーンシートに対して圧力を及ぼす、各工程を備える、キャビティ付きセラミック多層ブロックの製造方法。
IPC (3件)：
H05K 3/46
, B28B 3/02
, H01L 23/12
