特許
J-GLOBAL ID：200903096070063029
半導体製造用の拡散装置中の蒸気発生機の点火機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-164501
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154664
出願日： 1997年06月20日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：
【要約】【課題】 水素ガスの点火のための集熱板を、常に一定した温度に保持させることができる、半導体製造用の拡散装置中の蒸気発生機の点火機を提供することにある。【解決手段】 本発明による半導体製造用の拡散装置中の蒸気発生機の点火機は、ジュール熱を発生させる熱線12が、熱線ハウジング11内に放熱可能に取り付けられ、前記の熱線が一方向のみに露出されるようにして、遮熱板13で包んでなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ジュール熱を発生させる熱線が、熱線ハウジング内に放熱可能に取り付けられ、前記熱線が一方向のみに露出されるように、遮熱板で包まれることを特徴とする、半導体製造用の拡散装置中の蒸気発生機の点火機。
IPC (2件)：
H01L 21/22 501
, H01L 21/31
H01L 21/22 501 S
, H01L 21/31 E
