特許

J-GLOBAL ID：200903096071270109

変形半球状マイクロ構造体用金型、マイクロ凹面鏡及びその作製方法

発明者： 古川 幸生 ,  八木 隆行
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-323466
公開番号（公開出願番号）：特開2001-138337
出願日： 1999年11月15日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：

【要約】【課題】水平方向と垂直方向の光を結合するミラーなどとして適した楕円球体などの変形半球状マイクロ構造体用の金型、マイクロ凹面鏡、及びその作製方法である。【解決手段】変形半球状マイクロ構造体用金型の作製方法は、少なくとも一部に導電性部分13を有する基板11を準備する工程、基板上に絶縁性マスク層15を形成する工程、マスク層15に開口部17を形成する工程、導電性部分13を陰極として電気メッキにより、開口部17を通じて開口部17およびマスク層15上にメッキ層19を形成する工程を含む。メッキ液を開口部17上で基板11に対して相対的に流動させて変形半球状のメッキ層19を形成する。

請求項（抜粋）：

変形半球状マイクロ構造体用金型の作製方法であって、(1)少なくとも一部に導電性部分を有する基板を準備する工程、(2)前記基板上に絶縁性マスク層を形成する工程、(3)前記マスク層に開口部を形成する工程、(4)導電性部分を陰極として電気メッキにより、開口部を通じて開口部およびマスク層上にメッキ層を形成する工程、を有し、前記工程(4)において、メッキ液を開口部上で一方向に所定の流速にて基板に対して相対的に流動させることを特徴とする変形半球状マイクロ構造体用金型の作製方法。

IPC (9件)：

B29C 33/38 ,  C25D 1/00 361 ,  C25D 1/10 ,  C25D 7/00 ,  G02B 5/10 ,  G02B 6/42 ,  H01L 33/00 ,  H01S 5/022 ,  B29L 11:00

FI (10件)：

B29C 33/38 ,  C25D 1/00 361 ,  C25D 1/10 ,  C25D 7/00 F ,  G02B 5/10 A ,  G02B 5/10 C ,  G02B 6/42 ,  H01L 33/00 M ,  H01S 5/022 ,  B29L 11:00

Fターム (41件)：

2H037BA03 ,  2H037BA12 ,  2H037CA12 ,  2H042DA05 ,  2H042DA08 ,  2H042DA11 ,  2H042DB14 ,  2H042DC11 ,  2H042DC12 ,  2H042DD04 ,  2H042DD07 ,  2H042DE07 ,  4F202AA44 ,  4F202AH73 ,  4F202CA30 ,  4F202CB01 ,  4F202CD02 ,  4F202CD03 ,  4F202CD07 ,  4F202CD22 ,  4F202CD24 ,  4K024AA03 ,  4K024AB01 ,  4K024BA11 ,  4K024BA15 ,  4K024BB07 ,  4K024BC10 ,  4K024FA07 ,  4K024GA16 ,  5F041CA12 ,  5F041CA35 ,  5F041EE01 ,  5F041EE23 ,  5F041FF14 ,  5F041FF16 ,  5F073AB16 ,  5F073AB25 ,  5F073AB26 ,  5F073DA35 ,  5F073FA06 ,  5F073FA30