特許
J-GLOBAL ID：200903096071430718
半導体基板検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-313655
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129391
出願日： 1991年10月31日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】【目的】 半導体基板の検査時間を短縮する。【構成】 半導体基板検査装置の半導体基板搬送機構部に紫外線消去部4と半導体基板ベーク部6とを有しており、一度に半導体基板検査前紫外線消去、第1回目半導体基板検査、半導体基板ベーク、第2回目半導体基板検査、半導体基板検査後紫外線消去と順に処理を行なう。
請求項（抜粋）：
紫外線消去部と、半導体基板ベーク部とを有し、半導体装置を構成する半導体基板に対して検査を行なう半導体検査装置であって、紫外線消去部は、半導体基板に対する紫外線の消去処理を行なうものであり、半導体基板ベーク部は、半導体基板に対するベーク処理を行なうものであり、紫外線消去部及び半導体基板ベーク部は、半導体基板を搬送する搬送ライン内に組み込まれたものであることを特徴とする半導体検査装置。
IPC (5件)：
H01L 21/66
, G01R 31/26
, H01L 21/68
, H01L 29/788
, H01L 29/792
