特許
J-GLOBAL ID:200903096074838424

個体識別体とその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西田 新
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-117360
公開番号(公開出願番号):特開平5-313585
出願日: 1992年05月11日
公開日(公表日): 1993年11月26日
要約:
【要約】【目的】 フッ酸処理工程においても、その処理薬品を汚染せず、安価かつ容易に実施することができ、その結果、例えばシリコンウェハーを収容するキャリアに例えばバーコードを付けることを可能にする個体識別体とその製造方法を提供すること。【構成】 フッ素樹脂よりなる本体1に直接レーザ刻印装置を用いて所定のバーコード等2を刻印し、その刻印溝3・・・・3に、フッ素樹脂を主成分とするインク4をすり込んで固化させる。
請求項(抜粋):
フッ素樹脂よりなる本体と、その本体表面に刻印された所定のパターンと、そのパターンの刻印部に充填されたフッ素樹脂を主成分とするインクを有する個体識別体。

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