特許

J-GLOBAL ID：200903096076778747

ポジ型感光性組成物

発明者： 児玉 邦彦
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-371498
公開番号（公開出願番号）：特開2003-173023
出願日： 2001年12月05日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 高解像力で、デフォーカスラチチュード及びプロファイルに優れたポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物及び(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有するポジ型感光性組成物に於いて、(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物が、フェナシルスルホニウム塩構造を有する化合物又は芳香環構造を有さないスルホニウム塩であり、且つそのアニオン部が少なくとも1つのフッ素原子及び/又は少なくとも1つのフッ素原子を有する基で置換された芳香族スルホン酸のアニオンであることを特徴とするポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物及び(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有するポジ型感光性組成物に於いて、(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物が、フェナシルスルホニウム塩構造を有する化合物又は芳香環構造を有さないスルホニウム塩であり、且つそのアニオン部が少なくとも1つのフッ素原子及び/又は少なくとも1つのフッ素原子を有する基で置換された芳香族スルホン酸のアニオンであることを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (11件)：

2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17