特許

J-GLOBAL ID：200903096079088709

プラズマ耐食性に優れた石英ガラス及び石英ガラス治具

発明者： 佐藤 龍弘 ,  吉田 宜正 ,  藤ノ木 朗
出願人/特許権者： 信越石英株式会社
代理人 (1件)： 石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-395988
公開番号（公開出願番号）：特開2002-193634
出願日： 2000年12月26日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：

【要約】【課題】 半導体製造に用いられるプラズマ反応用治具材料として、プラズマ耐食性、特にF系プラズマガスに対する耐食性に優れた石英ガラス及び石英ガラス治具を提供する。【解決手段】 金属元素を含有しプラズマ耐食性を増大した石英ガラスであり、該石英ガラス中の泡と異物の含有量が100cm3当りの投影面積で100mm2未満、OH濃度が100〜2000ppm、表面粗さRaが0.01〜10μm、及び室温から1000°Cまでの放出ガス量が2mol/m3以下であるようにした。

請求項（抜粋）：

金属元素を含有しプラズマ耐食性を増大した石英ガラスであり、該石英ガラス中の泡と異物の含有量が100cm3当りの投影面積で100mm2未満、OH濃度が100〜2000ppm、表面粗さRaが0.01〜10μm、及び室温から1000°Cまでの放出ガス量が2mol/m3以下であることを特徴とするプラズマ耐食性に優れた石英ガラス。

Fターム (89件)：

4G062AA18 ,  4G062BB02 ,  4G062DA08 ,  4G062DB01 ,  4G062DB02 ,  4G062DB03 ,  4G062DB04 ,  4G062DC01 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062ED02 ,  4G062ED03 ,  4G062ED04 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062EG02 ,  4G062EG03 ,  4G062EG04 ,  4G062FA01 ,  4G062FA02 ,  4G062FA03 ,  4G062FA04 ,  4G062FA10 ,  4G062FB01 ,  4G062FB02 ,  4G062FB03 ,  4G062FB04 ,  4G062FC01 ,  4G062FC02 ,  4G062FC03 ,  4G062FC04 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FJ02 ,  4G062FJ03 ,  4G062FJ04 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062FL02 ,  4G062FL03 ,  4G062FL04 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH02 ,  4G062HH03 ,  4G062HH04 ,  4G062HH05 ,  4G062HH06 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH12 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK02 ,  4G062KK03 ,  4G062KK04 ,  4G062KK05 ,  4G062KK06 ,  4G062KK07 ,  4G062KK08 ,  4G062KK10 ,  4G062MM23 ,  4G062NN35 ,  4G062NN40

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 紫外線吸収性が良く、かつ可視光透過性の高いシリカガラスおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-029182   出願人：信越石英株式会社