特許

J-GLOBAL ID：200903096080963036

X線透過投影寸法測定器

発明者： 堀川 嘉明
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-282151
公開番号（公開出願番号）：特開平10-122843
出願日： 1996年10月24日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】 広視野にわたって十分な平行度の平行X線が得られ、被測定物の内部形状をも含む形状および寸法を、十分な測定性能で、高精度、かつ効率よく測定できるX線透過投影寸法測定器を提供する。【解決手段】 点光源とみなせるX線発生装置11と、このX線発生装置11からの発散X線を平行X線12に変換して被測定物13に投射する多層膜光学系14と、被測定物13からの透過X線を検出するX線検出器16とを有する。

請求項（抜粋）：

点光源とみなせるX線発生装置と、このX線発生装置からの発散X線を平行X線に変換して被測定物に投射する多層膜光学系と、前記被測定物からの透過X線を検出するX線検出器とを有することを特徴とするX線透過投影寸法測定器。