光路変更ユニット及び光ダンパ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：西村教光 , 鈴木典行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-086241
公開番号（公開出願番号）：特開2006-267615
出願日： 2005年03月24日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：

【課題】入射したレーザ光を効率よく吸収して外部への漏洩を防止しつつ、光の吸収に伴う熱の発生を抑制して吸収体自身の損傷を防止できる光路変更ユニットと、これを組み合わせて構成した光ダンパを提供する。【解決手段】本発明の光路変更ユニット1は、入射したレーザ光の一部を透過するハーフミラー2と、該ハーフミラー1の透過面に近接して配置され、前記透過したレーザ光を吸収する吸収体3とから構成される。これを組み合わせて内面が反射面側とされた箱状とすれば、内部に不要光を導いて減衰する光ダンパ4として有用である。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

入射されたレーザ光の一部を透過するハーフミラー(2)と、該ハーフミラーの透過面に近接して配置され、前記透過したレーザ光を吸収する吸収体(3)とから構成される光路変更ユニット(1)。

IPC (2件)：

G02B 5/00 , G02B 5/08

FI (2件)：

G02B5/00 B , G02B5/08 Z

Fターム (6件)：

2H042AA02 , 2H042AA09 , 2H042AA11 , 2H042AA32 , 2H042DD04 , 2H042DE09

引用特許：

出願人引用 (1件)

半導体の製造方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-331981 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ

審査官引用 (4件)

特開昭58-053875
黒色粒子、黒色粒子製造用メッキ装置および黒色粒子を用いた光吸収体
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-119790 出願人：アンリツ株式会社
特開昭58-053875

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