特許

J-GLOBAL ID：200903096086298204

基板搬送カセット

発明者： 田寺 孝光 ,  垣脇 成光
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 小池 隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-292116
公開番号（公開出願番号）：特開平11-130254
出願日： 1997年10月24日
公開日（公表日）： 1999年05月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 スループットを向上させるため、簡単な構成で低コストかつ小設置面積であるピッチ変換方法を提案する。【解決手段】 複数の基板を収納し、搬送に用いる基板搬送カセット1において、複数の基板支持部材2と、基板支持部材を互いに平行で等ピッチに移動させるガイド手段を具備する。ガイド手段としてXリンク機構あるいは1軸方向にスライドし、第1の位置と第2の位置の間を自由に伸縮可能に複数個の連結したスライダを用いることにより、簡単な構成で、低コストかつ小設置面積のピッチ変換可能な基板搬送装置を得ることができる。

請求項（抜粋）：

複数の基板を収納し、搬送に用いる基板搬送カセットにおいて、前記基板を保持する複数の基板支持部材と、前記基板支持部材を互いに平行で等ピッチに移動させるガイド手段とを具備したことを特徴とする基板搬送カセット。

IPC (3件)：

B65G 49/07 ,  B65D 85/86 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B65G 49/07 L ,  H01L 21/68 V ,  H01L 21/68 D ,  B65D 85/38 R