特許
J-GLOBAL ID：200903096095149777
直動機構を持つ処理容器を備えた処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-152014
公開番号（公開出願番号）：特開平11-000545
出願日： 1997年06月10日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：
【要約】【課題】 処理容器内のガイド機構を少なくして、処理対象物の加熱による熱歪の影響を受けにくい処理容器を備えた処理装置を提供すること。【解決手段】 両端が処理容器1の壁を貫通して外部に至る2本の駆動用支軸2a(2b)を有し、その両側には、これらを容器内で並進移動させるためのリニアモータ4a(4b)を設ける。容器内では、基板8の保持台6を支持枠13を介して駆動用支軸で支持する。駆動用支軸が容器の壁を貫通する箇所では、容器内の気密性を保つように真空ベローズ5a、5bを設ける。保持台は、処理容器内において、駆動用支軸と同じ方向に延びる1本のガイド機構17で支持枠を介して走行が案内される。
請求項（抜粋）：
気密状態を維持される処理容器と、前記処理容器内に配置され、両端がそれぞれ前記処理容器の壁を貫通して外部まで導出された2本の駆動用支軸と、前記2本の駆動用支軸が前記処理容器の壁を貫通する箇所において、前記2本の駆動用支軸がその軸方向に並進移動可能なように、かつ前記処理容器内の気密性が保たれるように、前記処理容器内と外部とを隔離する気密機構と、前記2本の駆動用支軸の少なくとも一端側に取り付けられ、前記2本の駆動用支軸をそれぞれ前記処理容器に対して独立して軸方向に移動させることのできるリニアモータによる2つの駆動機構と、前記処理容器内において、前記2本の駆動用支軸で支持され、処理対象物を保持する保持台と、前記処理容器内において、前記2本の駆動用支軸と同じ方向に延びて前記2つの駆動機構により駆動される前記保持台の走行を案内する1本のガイド機構とを含むことを特徴とする直動機構を持つ処理容器を備えた処理装置。
IPC (4件)：
B01J 3/00
, B01J 19/12
, H01L 21/268
, H01L 21/428
B01J 3/00 L
, B01J 19/12 B
, H01L 21/268 G
, H01L 21/428
