特許
J-GLOBAL ID：200903096099524858
表面状態検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-216398
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034560
出願日： 1992年07月21日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】 レチクル面やペリクル膜面上に付着したゴミや埃等の異物の有無と位置を高精度に検出する表面状態検査装置を得ること。【構成】 光源手段からの光束で照射された検査面に対して検出光学系を配置し、該検出光学系は受光レンズとその後側焦点近傍に配置した開口絞りと、該開口絞りを通過した光束を受光する複数の受光素子を有する受光部とを有しており、該受光部の各受光素子からの出力信号を信号処理系で加算及び比較することにより、該光束で該検査面上を光走査したときに生ずる発光点の位置又は/及び発光光量を算出したこと。
請求項（抜粋）：
光源手段からの光束で照射された検査面に対して検出光学系を配置し、該検出光学系は受光レンズとその後側焦点近傍に配置した開口絞りと、該開口絞りを通過した光束を受光する複数の受光素子を有する受光部とを有しており、該受光部の各受光素子からの出力信号を信号処理系で加算及び比較することにより、該光束で該検査面上を光走査したときに生ずる発光点の位置又は/及び発光光量を算出したことを特徴とする表面状態検査装置。
IPC (2件)：
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