特許
J-GLOBAL ID：200903096100145297
半導体装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-079103
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275300
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【課題】 半導体装置の内部回路のリーク検査において、内部回路の前段に設けられた抵抗手段のと基準電圧を比較することによりリークを判定する。【解決手段】 論理回路101にクロック150を入力して論理回路101を動作させる。タイミング発生回路104は、クロック150のエッジの立ち上がりか立ち下がりの後ある定められた時間の後、論理回路101の内部が安定するまでの間スイッチ手段109を導通状態にして電源端子102から電流が供給されやすいようにし、論理回路101の内部が安定してからはスイッチ手段109を非導通状態にする。比較器105は、スイッチ手段101が非導通の状態で抵抗手段108の論理回路101側の電位を測定して基準電位と比較し、測定した電位がある定められた基準電位より小さければ論理回路101にリークがあるとし、大きければリークがないと判定する。
請求項（抜粋）：
第1の端子を電源に接続し、第2の端子を被測定回路に接続した抵抗手段と、前記第2の端子における電圧がある定められた基準電圧より低い場合には前記被測定回路にリークがあるとし、高い場合にはリークがないと判定する判定部とを備えたことを特徴とする半導体装置。
IPC (3件)：
G01R 31/26
, H01L 27/04
, H01L 21/822
G01R 31/26 G
, G01R 31/26 B
, H01L 27/04 T
2G003AA07
, 2G003AB05
, 2G003AE01
, 2G003AE08
, 2G003AF06
, 2G003AH02
, 2G003AH04
, 2G003AH05
, 5F038CD06
, 5F038DT08
, 5F038EZ20
