特許
J-GLOBAL ID：200903096102296373
金属被膜を連続冷プラズマ蒸着するための方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
浅村 皓
, 浅村 肇
, 山本 貴和
, 岩本 行夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-522334
公開番号（公開出願番号）：特表2004-507617
出願日： 2001年08月23日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：
この発明は、基体(1)上に金属被膜を蒸着するための方法および装置に関し、それは、表面に金属の蒸着物ができるのを避けるように加熱した閉込め室(7)の内部での冷プラズマ蒸着に本質があり、上記室(7)は被覆すべき基体(7)が上記室に出入りする入口開口(21)および出口開口(22)を有し、電極を形成する、金属蒸気源が上記室内に設けてあってその中にプラズマ(6)ができるようにし、この基体(1)または別の導電性要素が対向電極を形成する。この発明は、基体(1)上に金属被膜を作るべき金属を溶融状態で、この閉込め室(7)に通ずる保持タンク(8)の中へ注入すること、および上記タンク(8)の中の溶融金属を、この金属被膜を作っている間実質的に一定の液位に維持することに本質があることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基体(1)上に金属被膜を蒸着する方法であって、該蒸着が、表面に金属の蒸着物ができるのを防ぐために加熱した閉込め容器(7)の内部で冷プラズマによって適用され、この容器(7)は、被覆すべき基体(1)が後者を出入りする入口開口(21)および出口開口(22)を有し、電極を構成する金属蒸気源が前記容器(7)内に設けてあってその中にプラズマ(6)ができるようにし、前記基体(1)がまたは別の導電性要素が対向電極を形成する方法に於いて、前記基体(1)上に金属の被膜を作るために必要な金属を、前記閉込め容器(7)に通ずる保持タンク(8)の中に液体状態で注入し、そして、前記保持タンク(8)を計量することによってタンク(8)の中の液体金属をこの金属被膜の形成プロセス中実質的に一定の液位に保ち、前記液体金属を保持タンク(8)と機械的に独立である管によってこのタンクの中に注入することを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (4件)：
C23C14/32 Z
, G02B6/44 301A
, G02B6/44 301B
, C03C25/04 A
2H050BA04
, 2H050BA22
, 2H050BA32
, 2H050BB26W
, 2H050BC03
, 4G060AA01
, 4G060AC12
, 4G060AD13
, 4G060AD51
, 4G060AD58
, 4K029AA09
, 4K029AA23
, 4K029BA18
, 4K029CA03
, 4K029DD00
, 4K029JA10
, 4K029KA03
