特許
J-GLOBAL ID:200903096106037917
密着転写方法および装置ならびに転写型
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
金山 聡
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-205719
公開番号(公開出願番号):特開2001-058352
出願日: 1999年07月21日
公開日(公表日): 2001年03月06日
要約:
【要約】【課題】密着性に優れる転写型を提供するとともに、さらにそれを用い、大面積で高精細のものを品質的にも満足できかつ簡単な方法で形成できる密着転写方法および密着転写装置を提供する。【解決手段】補強層とクッション層と型層とからなる3層構造の転写型、その転写型の一部を隔壁方向と直交する方向に線状に基板に密着させた後に、隔壁方向と直交する方向に密着領域を広げて行く密着過程と、その転写型を反らせながら隔壁方向と直交する方向に沿って線状の剥離境界を形成しながら一方の端から他方の端へ、または、両端から中心部に向けて剥離する剥離過程と、を有する密着転写方法および密着転写装置。
請求項(抜粋):
隔壁素材を形成すべき形状に適合する凹部を有するシート状の型であって、基板の凹凸に追従できる可撓性を有することを特徴とする転写型。
IPC (3件):
B29C 59/02
, H01J 9/02
, H01J 11/02
FI (3件):
B29C 59/02 B
, H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
Fターム (23件):
4F209AH42
, 4F209AJ02
, 4F209AJ03
, 4F209AJ09
, 4F209PA02
, 4F209PA06
, 4F209PB01
, 4F209PN06
, 4F209PN09
, 4F209PQ09
, 4F209PQ11
, 4F209PQ14
, 4F209PQ16
, 5C027AA09
, 5C040GF19
, 5C040JA19
, 5C040JA20
, 5C040JA28
, 5C040JA31
, 5C040LA17
, 5C040MA23
, 5C040MA24
, 5C040MA25
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