特許

J-GLOBAL ID：200903096108256691

窒化ホウ素の気相合成法

発明者： 松本精一郎 ,  西田 典弘 ,  守吉 佑介 ,  明石 和夫
出願人/特許権者： 科学技術庁無機材質研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-343557
公開番号（公開出願番号）：特開平8-208207
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1996年08月13日
要約：

【要約】【目的】 緻密質の窒化ホウ素を1気圧下で或いは低温で合成し得る方法を提供する。【構成】 熱プラズマ或いは非平衡プラズマを用い、ホウ素源として三フッ化ホウ素、窒素源として含窒素化合物を原料とする気相合成法において、原料ガス中のH/Fの比を1以下とすることを特徴としている。基板温度は200°C以上から可能である。密度が1.95g/cm3以上の緻密質の窒化ホウ素が得られる。

請求項（抜粋）：

熱プラズマ或いは非平衡プラズマを用い、ホウ素源として三フッ化ホウ素、窒素源として含窒素化合物を原料とする気相合成法において、原料ガス中のH/Fの比を1以下とすることを特徴とする窒化ホウ素の合成法。

IPC (2件)：

C01B 21/064 ,  B01J 19/08