特許

J-GLOBAL ID：200903096108446407

けい光X線の分析方法

発明者： 河野 久征 ,  小林 寛 ,  庄司 孝
出願人/特許権者： 理学電機工業株式会社
代理人 (1件)： 杉本 修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-237200
公開番号（公開出願番号）：特開平5-052778
出願日： 1991年08月23日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：

【要約】【目的】 ボロンのような軽元素を含む試料の組成のうち、けい光X線強度が低い軽元素のけい光X線を、けい素や酸素のような重元素の高次線によるバックグランドに影響されることなく、確実に検出して分析精度の向上を図る。【構成】 ボロンのような軽元素を含む試料1からのけい光X線を、人工格子6とその回折X線を全反射させて重元素の高次線を低減する全反射ミラー7と軽元素のけい光X線強度を高く維持する第1および第2の全反射スリット5,8の組合せからなる分光器3に通して、平行光として取り出し、その平行光を検出器4で検出して分析する。

請求項（抜粋）：

軽元素を含む試料からのけい光X線を、第1の全反射スリットを通過させて平行光とし、これを人工格子および全反射ミラーの一方に入射させたのち他方に入射させて回折X線を取り出し、この回折X線を第2の全反射スリットに入射させて平行光からなる被検出光を取り出し、この被検出光を検出して分析するけい光X線の分析方法。