ウエーハの分離検出方法および分離検出装置

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小野尚純 , 奥貫佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-060513
公開番号（公開出願番号）：特開2005-251986
出願日： 2004年03月04日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：

【課題】表面に格子状に形成された分割予定ラインに沿って分割されたウエーハが、分離されているか否かを確実に検出する。【解決手段】表面に格子状に形成された複数の分割予定ライン101に沿って分割されたウエーハ10が、該分割予定ライン101に沿って分離されているが否かを検出するウエーハの分離検出方法であって、ウエーハ10を環状のダイシングフレーム15に装着された伸長可能なダイシングテープ16の表面に貼着するテープ貼着工程と、ウエーハ10が貼着されたダイシングテープ16を拡張するテープ拡張工程と、ウエーハ10の一方の面に光を照射する光照射工程と、ウエーハ10の他方の面側において分割予定ライン101から光が漏出しているか否かを検出し、光が漏出している場合はウエーハ10が分割予定ライン101に沿って分離されていると判定し、光が漏出していない場合には未分離領域が存在すると判定する分離検出工程とを含む。【選択図】図13

請求項（抜粋）：

表面に格子状に形成された複数の分割予定ラインに沿って分割されたウエーハが、該分割予定ラインに沿って分離されているか否かを検出するウエーハの分離検出方法であって、ウエーハを環状のダイシングフレームに装着された伸長可能なダイシングテープの表面に貼着するテープ貼着工程と、ウエーハが貼着された該ダイシングテープを拡張するテープ拡張工程と、ウエーハの一方の面側から光を照射する光照射工程と、ウエーハの他方の面側において分割予定ラインから光が漏出しているか否かを検出し、光が漏出している場合はウエーハが分割予定ラインに沿って分離されていると判定し、光が漏出していない場合には未分離領域が存在すると判定する分離検出工程と、を含む、ことを特徴とするウエーハの分離検出方法。

IPC (1件)：

H01L21/301

FI (2件)：

H01L21/78 A , H01L21/78 W

引用特許：

出願人引用 (1件)

特許第3408805号公報

審査官引用 (8件)

特開昭61-280906
特開平3-034443
レーザ加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-067281 出願人：浜松ホトニクス株式会社

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