特許
J-GLOBAL ID：200903096114340653
マスクステージの位置決め機構
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-087856
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281717
出願日： 1996年04月10日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 マスクステージ開閉時の位置決め精度を向上させ、基台に対してマスクステージを再現性よく正確に位置決めするできるようにすること。【解決手段】 マスクステージMSを、マスクを保持するマスク保持枠MS1とマスク開閉枠MS2から構成し、マスク開閉枠MS1を基台BPに開閉可能に取り付ける。また、マスク保持枠MS1とマスク開閉枠MS2に、3個の補助ボール先スクリューBs2と補助V溝体V2からなる第1の三点対偶基素を設け、また、マスク保持枠MS1と基台BPに3個のボール先スクリューBs1とV溝体V1からなる第2の三点対偶基素を設ける。そして、マスク開閉枠MS2が開いているとき、マスク開閉枠MS2に対してマスク保持枠MS1を第1の三点対偶基素により位置決めし、また、マスク開閉枠MS2が閉じているとき、基台BPに対してマスク保持枠MS1を第2の三点対偶基素により位置決めする。
請求項（抜粋）：
マスクを保持するマスク保持枠とマスク開閉枠とから構成され、マスク開閉枠が閉じているとき、上記マスク保持枠がマスク開閉枠に対して移動できるように取り付けられたマスクステージと、上記マスク開閉枠を開閉可能に支持する基台と、上記マスク開閉枠と基台が、マスク開閉枠を閉じるとき、上記マスク保持枠とマスク開閉枠が基台面に対して略垂直方向に移動するように接続されているマスクステージの位置決め機構であって、上記マスク保持枠とマスク開閉枠は、両者の三点対偶を可能とする第1の三点対偶基素を備え、また、上記マスク保持枠と基台は、両者の三点対偶を可能とする第2の三点対偶基素を備えており、上記マスク開閉枠が開いているとき、上記第2の三点対偶基素による三点対偶を解除して、上記マスク開閉枠に対するマスク保持枠の位置を、上記第1の三点対偶基素により位置決めし、上記マスク開閉枠が閉じているとき、上記第1の三点対偶基素による三点対偶を解除して、上記基台に対するマスク保持枠の位置を、上記第2の三点対偶基素により位置決めすることを特徴とするマスクステージの位置決め機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 9/00 H
, H01L 21/30 503 D
