特許
J-GLOBAL ID：200903096121823368
パターン生成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-014767
公開番号（公開出願番号）：特開平5-206276
出願日： 1992年01月30日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【目的】 集積回路の各セルを結線する配線幅が必要以上に太くなることを防ぐとともに、必要線幅に満たない金属配線に発生するエレクトロマイグレーションによる配線の断線を防止する。【構成】 消費電流算出部1は、集積回路の動作時間ごとの各セルの消費電流を算出し、必要線幅算出前処理部4は各セルの各端子ごとに流れる電流値及び配線に用いるAl線の膜厚, 許容最大電流密度に基づいて各端子の必要線幅を算出し、必要線幅算出部6は各端子の必要線幅及びその位置関係並びに各セルの消費電流値の大小関係に基づいて配線の必要線幅を算出し、線幅決定部7がこの必要線幅がAl線の加工可能な最小線幅以上の値になるように補正して線幅を決定し、この線幅の数値及び画像をグラフィック表示部10に表示するとともに、決定した線幅を用いてパターン生成部11が集積回路のパターンを生成する。
請求項（抜粋）：
複数段に分岐した配線によって複数の回路ブロックの各端子が結線される集積回路のパターンを生成する装置において、集積回路を構成する各回路ブロックの消費電流を、該集積回路の動作経過の所定時間単位ごとに算出する消費電流算出部と、算出された消費電流値から各々の電源端子及びグランド端子毎に流れる電流値を記憶保持する消費電流記憶部と、消費電流算出部が算出した消費電流から求まる各回路ブロックの各端子を流れる電流値と配線に用いる導体の電気的特性に関わるデータとに基づいて各端子に必要な配線幅を算出する端子配線幅算出部と、前記消費電流算出部による算出データと前記端子配線幅算出部による算出データと電流の流れにおける各端子の位置関係のデータとに基づいて、端子の結線関係及び前記所定時間単位ごとの各回路ブロックの消費電流に即した配線の必要線幅を算出する必要線幅算出部と、必要線幅算出部が算出した必要線幅を前記導体の加工可能な最小線幅以上の値に補正して配線幅を決定する線幅決定部と、線幅決定部により決定された配線幅に基づくデータを装置外部へ出力する手段と、線幅決定部により決定された配線幅でパターンを生成するパターン生成部とを備えたことを特徴とするパターン生成装置。
IPC (2件)：
H01L 21/82
, G06F 15/60 370
H01L 21/82 C
, H01L 21/82 W
