特許

J-GLOBAL ID：200903096122812947

流量計

発明者： 青島 滋 ,  森田 靖二 ,  島田 勝介 ,  関 一夫
出願人/特許権者： 山武ハネウエル株式会社
代理人 (1件)： 田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-017323
公開番号（公開出願番号）：特開平8-210889
出願日： 1995年02月03日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【目的】 気体通路の封止構造を簡素化することで組立能率を改善しながら気密性の高い気体通路を確保可能にする。【構成】 第1室Aに臨む側の隔壁4面に互い違いに配置されて縮小部、拡大部の連結した気体通路5を形成する複数の粉塵捕獲壁6と、該粉塵捕獲壁6の端面bおよび上記ケース1の開口端面aに気密接着される平板状の封止蓋9と、上記気体通路5に連通するとともに、上記ケース1に一体に設けられた気体の導入部2および導出部3と、上記隔壁4に上記第1室Aおよび第2室Bに連通するように設けられた気体の導入孔7および導出孔8とを有し、上記第2室B側の上記隔壁4上に気体通過路15を設け、該気体通過路15をシールリング11を介して熱式流量センサ13を持った回路基板12により閉塞する。

請求項（抜粋）：

ケース内を第1室および第2室に隔成する隔壁と、上記第1室に臨む側の隔壁面に配置されて、縮小部、拡大部の連結した気体通路を形成する複数の粉塵捕獲壁と、該粉塵捕獲壁の端面および上記ケースの開口端面に気密接着されて、上記第1室を閉塞する平板状の封止蓋と、上記気体通路の一端および他端にそれぞれ連通し、かつ上記ケースに設けられた気体の導入部および導出部と、上記気体通路の途中の上記隔壁に上記第1室および第2室に連通するように設けられた気体の導入孔および導出孔と、上記第2室に臨む側の上記隔壁面に形成されて、上記導入孔および導出孔に連通する気体通過路と、上記気体通過路内に臨ませる熱式流量センサを持つ回路基板とを備えた流量計。