特許

J-GLOBAL ID：200903096122994182

電磁アクチュエータ

発明者： 渡辺 和英 ,  金光 陽一
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-254115
公開番号（公開出願番号）：特開平6-074297
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：

【要約】【目的】 常時の通電電力を要しない、除振テーブルを浮上保持する電磁アクチュエータを提供する。【構成】 中央部に設けられた空気ばね3と、該空気ばねを囲むように配置された電磁石4,5とからなり、該電磁石4,5の外周に設けられた、除振テーブル1に固定された磁性材料のターゲット16,17,18,19を前記電磁石4、5の磁気力により非接触で支持することを特徴とする電磁アクチュエータ2。

請求項（抜粋）：

中央部に設けられた空気ばねと、該空気ばねを囲むように配置された電磁石とからなり、該電磁石の外周に設けられた、除振テーブルに固定された磁性材料のターゲットを前記電磁石の磁気力により非接触で支持することを特徴とする電磁アクチュエータ。

IPC (5件)：

F16F 15/03 ,  F16F 9/02 ,  F16F 15/02 ,  G12B 9/08 ,  H01J 37/16

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-266134
  
• 特開平2-203040
  
• 特開平2-266134
  
• 特開平2-203040