電気的配線検査方法及び装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-312444
公開番号（公開出願番号）：特開平9-152457
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】【課題】検査の質を向上させ、かつ、検査時間を短縮する。【解決手段】良品の配線基板10について、プローブ31及び32をそれぞれグランドプレート13及び配線iに導通させて容量Cgiを測定し、これを記憶装置44に格納する。検査対象の配線基板10について同様に容量Ciを測定し、良品のいくつかの容量測定値の平均値Caと検査対象の対応する容量測定値Cgaの平均値との比μを算出する。ただし、Ck<Cgk(1-Δe0)又はCk>Cgk(1+Δe0)であれば比の算出対象から容量測定値Ck及びCgkを除外する。Cj<μ・Cgj(1-Δe)又はCj>μ・Cgj(1+Δe)であれば配線jが欠陥であると判定し、抵抗測定法により欠陥の詳細を判定する。ここにΔeは許容誤差率である。

請求項（抜粋）：

配線基板に形成された導体パターンに複数のプローブを当接して電気的に配線を検査する電気的配線検査方法において、該プローブを移動させるプローブ駆動装置と、該複数のプローブのうち2つのプローブの間の容量を測定する容量測定部と、記憶部と、を有する電気的配線検査装置を使用し、良品の配線基板及びi=1〜nについて、該プローブ駆動装置により該複数のプローブのうち2つのプローブの一方及び他方をそれぞれ導体面及び配線iに導通させて、該容量測定部により容量Cgiを測定し、該容量Cgiを該記憶部に格納し、検査対象の配線基板及びi=1〜nについて、該プローブ駆動装置によりに対し該複数のプローブのうち2つのプローブの一方及び他方をそれぞれ該導体面及び該配線iに導通させて、該容量測定部により容量Ciを測定し、該検査対象の1以上の配線の容量測定値の平均値と、該良品の、該1以上の配線に対応する配線の容量測定値の平均値との比μを実質的に算出し、j=1〜nかつ該比の算出に用いられなかった配線jについて、Cj<μ・Cgj(1-Δe)又はCj>μ・Cgj(1+Δe)であれば配線jが欠陥であると判定し、ここにΔeは正の設定値である、ことを特徴とする電気的配線検査方法。

IPC (3件)：

G01R 31/02 , G01R 27/26 , G01R 31/28

FI (3件)：

G01R 31/02 , G01R 27/26 C , G01R 31/28 K

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭64-057178
特表平4-503105
特開昭59-168375

全件表示

前のページに戻る