特許

J-GLOBAL ID：200903096130051041

ステージ制御方法、ステージ装置および露光装置

発明者： 橋本 豪之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-214609
公開番号（公開出願番号）：特開2000-049074
出願日： 1998年07月29日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】 ステージ制御方法、ステージ装置および露光装置において、粗動・微動の両ステージの総位置決め時間を短縮し、また、微動ステージを安定に位置決めすること。【解決手段】 微動ステージ11を目標位置まで駆動制御する工程を、粗動ステージ10の移動開始位置から目標位置までの移動距離に応じて、粗動ステージの移動開始位置から現在位置までの移動距離に基づいて制御する工程と微動ステージの移動開始時から現在時間までの移動時間に基づいて制御する工程とを切り換えて行うので、粗動ステージの移動距離が短い場合、微動ステージの移動時間による制御によって同時に移動開始しても粗動ステージとは別個に位置決めされるため、大きな加速度によらずとも制限以下の加速度で安定した位置決めが可能となる。

請求項（抜粋）：

所定方向に粗動ステージを移動させるとともに、該粗動ステージに設けられた微動ステージを粗動ステージに対して相対的に移動させ、粗動ステージおよび微動ステージの目標位置に位置決めする制御を行うステージ制御方法であって、前記微動ステージを目標位置まで駆動制御する工程は、前記粗動ステージの移動開始位置から目標位置までの移動距離に応じて、粗動ステージの移動開始位置から現在位置までの移動距離に基づいて制御する工程と微動ステージの移動開始時から現在時間までの移動時間に基づいて制御する工程とを切り換えて行うことを特徴とするステージ制御方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/22 ,  G03F 9/00

FI (5件)：

H01L 21/30 518 ,  G03F 7/22 H ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 516 B ,  H01L 21/30 525 D

Fターム (11件)：

5F046BA02 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC06 ,  5F046CC16 ,  5F046DA06 ,  5F046DA08 ,  5F046DB05