特許

J-GLOBAL ID：200903096132800262

加工装置およびその制御方法

発明者： 出口 明信
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-106720
公開番号（公開出願番号）：特開2003-300129
出願日： 2002年04月09日
公開日（公表日）： 2003年10月21日
要約：

【要約】【課題】 被加工体または加工具が取り付けられる回転シャフトの傾きに起因する加工精度の悪化を低コストかつ確実に抑制することを目的とする。【解決手段】 加工装置1は、移動テーブル2,3および4のうちの何れか1体によって回転自在に支持される回転シャフト10と、回転シャフト10を回転駆動するシャフト駆動モータ15と、各移動テーブル2,3および4に位置指令信号Sx,Sy,Szを与える制御装置60と、回転シャフト10の中心軸10aの理想回転軸からの傾きを示すX軸周りの角度α、Y軸周りの角度φおよびZ軸周りの角度θを検出する複数の傾きセンサ55および角度算出回路63と、検出された角度α,φおよびθを利用して、被加工体WPと加工具Tとの間の実接点と目標接点とが一致するように位置指令信号Sx’,Sy’,Sz’を生成する補正回路64とを備える。

請求項（抜粋）：

被加工体と加工具とを目標接点で接触させ、両者を相対的に移動させながら被加工体を加工することができる加工装置において、直交座標系のX軸方向に移動可能なX軸移動テーブルと、直交座標系のY軸方向に移動可能なY軸移動テーブルと、直交座標系のZ軸方向に移動可能なZ軸移動テーブルと、前記被加工体または前記加工具を保持可能であり、前記移動テーブルのうちの何れか1体によって回転自在に支持される回転シャフトと、前記回転シャフトを回転駆動するシャフト駆動手段と、前記各移動テーブルに位置指令信号を与える制御手段と、前記回転シャフトの中心軸の理想回転軸からの傾きを示すX軸周りの角度α、Y軸周りの角度φおよびZ軸周りの角度θを検出する傾き検出手段と、前記傾き検出手段によって検出された角度α,φおよびθを利用して、前記被加工体と前記加工具との間の実接点と目標接点とが一致するように前記各移動テーブルに対する位置指令信号を補正する補正手段とを備えることを特徴とする加工装置。

IPC (5件)：

B23Q 15/013 ,  B23Q 1/00 ,  B23Q 17/22 ,  G05B 19/404 ,  B23Q 5/28

FI (6件)：

B23Q 15/013 ,  B23Q 1/00 ,  B23Q 17/22 Z ,  G05B 19/404 G ,  B23Q 5/28 B ,  B23Q 1/00 Z

Fターム (26件)：

3C001KA08 ,  3C001KB10 ,  3C001TA01 ,  3C001TB01 ,  3C001TC05 ,  3C001TD01 ,  3C029AA29 ,  3C029AA40 ,  3C048AA01 ,  3C048BB01 ,  3C048BC02 ,  3C048BC03 ,  3C048BC06 ,  3C048CC04 ,  3C048CC07 ,  3C048DD10 ,  3C048DD13 ,  3C048DD26 ,  3C048EE00 ,  5H269AB01 ,  5H269BB01 ,  5H269BB03 ,  5H269EE03 ,  5H269FF06 ,  5H269JJ01 ,  5H269MM05