特許
J-GLOBAL ID:200903096138697390

ヒドロキシプロピルセルロースのアリールウレタン類を含む熱硬化性の反射防止コーティング

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 渡辺 望稔 ,  三和 晴子
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-570012
公開番号(公開出願番号):特表2004-519541
出願日: 2002年02月22日
公開日(公表日): 2004年07月02日
要約:
新規ポリマーおよび該ポリマーを含んだ反射防止組成物が提供される。該ポリマーは、下記式の繰り返しモノマー類を含む。【化4】式中、Rは、-OH、-CH2 OH、-R1 -O-Xまたは-CH2 -O-R1 である。ここで、R1 は、分岐した、または分岐を有しないアルキル基であり、Xは、置換された、または置換されていないアリールイソシアネート類である。本発明の組成物は、高エッチングレートおよび高光学濃度を有する反射防止コーティングを作成するのに使用することができる。
請求項(抜粋):
下記式の部分(moiety)。
IPC (3件):
C08B11/15 ,  G03F7/11 ,  H01L21/027
FI (3件):
C08B11/15 ,  G03F7/11 503 ,  H01L21/30 574
Fターム (14件):
2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025DA34 ,  2H025FA41 ,  4C090AA02 ,  4C090BA34 ,  4C090BB62 ,  4C090BB92 ,  4C090CA38 ,  4C090DA01 ,  4C090DA08 ,  4C090DA21 ,  4C090DA32 ,  5F046PA07
引用特許:
審査官引用 (5件)
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