特許
J-GLOBAL ID:200903096138697390
ヒドロキシプロピルセルロースのアリールウレタン類を含む熱硬化性の反射防止コーティング
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
渡辺 望稔
, 三和 晴子
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-570012
公開番号(公開出願番号):特表2004-519541
出願日: 2002年02月22日
公開日(公表日): 2004年07月02日
要約:
新規ポリマーおよび該ポリマーを含んだ反射防止組成物が提供される。該ポリマーは、下記式の繰り返しモノマー類を含む。【化4】式中、Rは、-OH、-CH2 OH、-R1 -O-Xまたは-CH2 -O-R1 である。ここで、R1 は、分岐した、または分岐を有しないアルキル基であり、Xは、置換された、または置換されていないアリールイソシアネート類である。本発明の組成物は、高エッチングレートおよび高光学濃度を有する反射防止コーティングを作成するのに使用することができる。
請求項(抜粋):
下記式の部分(moiety)。
IPC (3件):
C08B11/15
, G03F7/11
, H01L21/027
FI (3件):
C08B11/15
, G03F7/11 503
, H01L21/30 574
Fターム (14件):
2H025AA02
, 2H025AB16
, 2H025DA34
, 2H025FA41
, 4C090AA02
, 4C090BA34
, 4C090BB62
, 4C090BB92
, 4C090CA38
, 4C090DA01
, 4C090DA08
, 4C090DA21
, 4C090DA32
, 5F046PA07
引用特許:
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