吸湿膜及び有機EL表示装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：大川宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-065508
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260562
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】高純度及び高均質で吸湿性能の高い吸湿膜を提供する。【解決手段】透明基板としてのガラス基板1と、透明基板1上に形成された透明電極層21、透明電極層21上に形成された有機EL発光層22及び有機EL発光層22上に形成された金属電極層23よりなる有機EL素子2と、内部に不活性流体を封入しつつ有機EL素子2を被覆するように透明基板1に接合された封止部材としての背面ガラス基板3とを備えている。背面ガラス基板3の内側面には、アルカリ土類過酸化物(BaO2 )をターゲット材料に用いたPVD法により成膜されたアルカリ土類一酸化物(BaO)からなる吸湿膜6が成膜されている。大気中で安定なアルカリ土類過酸化物をターゲット材料として用いることにより、高純度及び高均質で吸湿性能の高い吸湿膜6とする。

請求項（抜粋）：

アルカリ土類過酸化物を出発原料に用いたPVD法により成膜されたアルカリ土類一酸化物からなることを特徴とする吸湿膜。

IPC (3件)：

H05B 33/04 , C23C 14/08 , H05B 33/14

FI (3件)：

H05B 33/04 , C23C 14/08 J , H05B 33/14 A

Fターム (16件)：

3K007AB13 , 3K007BA06 , 3K007BB01 , 3K007BB04 , 3K007BB05 , 3K007CA01 , 3K007CB01 , 3K007DA01 , 3K007DB03 , 3K007EB00 , 3K007FA01 , 3K007FA02 , 4K029AA09 , 4K029BA43 , 4K029BC00 , 4K029BD00

引用特許：

審査官引用 (2件)

有機EL素子の封止方法および有機EL素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-185968 出願人：出光興産株式会社
特開平1-107581

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