特許

J-GLOBAL ID：200903096143624881

圧電素子の検査方法及び検査装置

発明者： 小原 宏 ,  渡辺 重光
出願人/特許権者： ミツミ電機株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-223683
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064414
出願日： 1997年08月20日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】【課題】 圧電素子に対する検査をパッケージあるいはケースに封止する前に行うような圧電素子の検査装置を提供すること。【解決手段】 水晶素板の両面にそれぞれ、少なくとも1つの主電極とこれに接続した少なくとも1つの引出し電極とを形成して成る水晶振動子10を検査する装置であり、前記水晶振動子を前記主電極以外の領域で支持する支持部を有する試料台21と、前記引出し電極に接続するためのプローブピン22と、該プローブピンを前記試料台に対して相対的に位置を可変とするための保持機構24と、前記プローブピンに接続されたネッワークアナライザ25とを備えた。

請求項（抜粋）：

圧電素板の両面にそれぞれ、少なくとも1つの主電極とこれに接続した少なくとも1つの引出し電極とを形成して成る圧電素子を、前記主電極以外の領域で支持した状態にし、前記引出し電極にはコンタクトピンあるいは外部電極を通して特性試験器を接続して前記圧電素子の特性を検査することを特徴とする圧電素子の検査方法。

IPC (4件)：

G01R 29/22 ,  G01N 27/02 ,  G01R 31/00 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 29/22 G ,  G01N 27/02 Z ,  G01R 31/00 ,  H01L 21/66 D