特許
J-GLOBAL ID：200903096143705440
反射鏡及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-020503
公開番号（公開出願番号）：特開平6-216049
出願日： 1993年01月13日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】高融点、優れた耐熱性、高い熱伝導性、高反射率、鏡体全体としての物理的、化学的諸特性が均質(等方的)な反射鏡を開発すること。【構成】等方性黒鉛材を基材とし、その表面にCVD法により炭化珪素膜を形成せしめ、それを高精度研磨して得られた鏡面を有する反射鏡において、基材となる等方性黒鉛材を部分的に炭化珪素質に転換せしめた後に、その表面にCVD法により炭化珪素膜を形成せしめ、これを精密研磨したものを反射鏡の鏡面として使用すること。
請求項（抜粋）：
等方性黒鉛材を基材とし、その表面にCVD法により炭化珪素膜を形成せしめ、それを高精度研磨して得られた鏡面を有する反射鏡において、基材となる等方性黒鉛材を部分的に炭化珪素質に転換せしめた後に、その表面にCVD法により炭化珪素膜を形成せしめ、これを精密研磨して得られた鏡面を有する反射鏡。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, G02B 5/08
, H01S 3/08
