特許

J-GLOBAL ID：200903096151898478

炭素膜で覆われた部材

発明者： 山崎 舜平 ,  林 茂則 ,  石田 典也 ,  佐々木 麻里 ,  竹山 順一
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-365049
公開番号（公開出願番号）：特開平10-180925
出願日： 1988年10月11日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：

【要約】【課題】基体または部材に独立してバイアスを印加することが難しく、薄膜形成に最適なプロセス条件を探すことが困難である。【解決手段】親水性を有し、その固有抵抗が5×1013Ωcm以下の炭素または炭素を主成分とする被膜をガラス等の透光性部材に形成するに際し、この部材上に透光性を有し、部材と密着性を有する窒化珪素膜を形成し、さらにその上に炭素または炭素を主成分とする被膜を形成する。

請求項（抜粋）：

絶縁性を有する透光性部材であって、前記部材面にバッファ層が形成され、前記窒化珪素膜の上に親水性を有しかつ5×1013Ωcm以下の固有抵抗を有する透光性の炭素または炭素を主成分とする膜が設けられたことを特徴とする炭素膜で覆われた部材。

IPC (6件)：

B32B 7/02 104 ,  B32B 9/00 ,  C03C 17/34 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/30 ,  C30B 29/04

FI (6件)：

B32B 7/02 104 ,  B32B 9/00 A ,  C03C 17/34 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/30 ,  C30B 29/04 X