特許
J-GLOBAL ID：200903096152777593
赤外線センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-265703
公開番号（公開出願番号）：特開平8-128889
出願日： 1994年10月28日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：
【要約】【目的】ボロメータ用の酸化バナジウム膜の劣化を防止して赤外線センサの感度を高める。【構成】Si基板1から空隙を介して熱的に分離されたSiO2 支持膜4の上に形成したVO2 膜7の表面をV2 O5 保護膜8で被覆するよことにより、後工程の雰囲気でVO2 膜7が劣化することを防止する。
請求項（抜粋）：
基板上に設けた空隙を介して熱的に分離された支持膜の上に形成したボロメータ用の酸化バナジウム膜と、前記酸化バナジウム膜の表面を被覆して形成した五酸化バナジウム膜からなる第1の保護膜と、前記第1の保護膜を含む表面に設けた第2の保護膜とを有することを特徴とする赤外線センサ。
IPC (2件)：
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