特許

J-GLOBAL ID：200903096160909628

微細形状の転写方法及びバイナリーレンズの製造方法

発明者： 楚山 誠
出願人/特許権者： 株式会社有沢製作所
代理人 (1件)： 吉井 剛 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-275295
公開番号（公開出願番号）：特開2000-102937
出願日： 1998年09月29日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：

【要約】【課題】 微細な形状を有する製品を精度良く大量に製造することができる実用性,量産性に秀れた微細形状の転写方法及びバイナリーレンズの製造方法を提供するものである。【解決手段】 微細形状Aが形成された石英等のガラス基材や,ゲルマニウム若しくはシリコンウエハー等の半導体形成素材から成る第一型1を、微細形状A面が下側となるようにして支持材2に載置し、この支持材2に載置された第一型1の周囲に、常温で硬化する常温硬化性樹脂4を流し込み、続いて、該常温硬化性樹脂4を硬化させて前記第一型1が微細形状A面が露出した状態且つ該微細形状A面が周囲と面一状態で常温硬化性樹脂4中に埋め込まれた構造の第二型3を形成し、この第二型3を前記支持材2から剥離した後、該第二型3の微細形状A面が露出している面上にUV硬化性樹脂5を設け、続いて、該UV硬化性樹脂5を硬化させた後、該UV硬化性樹脂5を前記第二型3から剥離するものである。

請求項（抜粋）：

微細形状が形成された石英等のガラス基材や,ゲルマニウム若しくはシリコンウエハー等の半導体形成素材から成る第一型を、微細形状面が下側となるようにして支持材に載置し、この支持材に載置された第一型の周囲に、常温で硬化する常温硬化性樹脂を流し込み、続いて、該常温硬化性樹脂を硬化させて前記第一型が微細形状面が露出した状態且つ該微細形状面が周囲と面一状態で常温硬化性樹脂中に埋め込まれた構造の第二型を形成し、この第二型を前記支持材から剥離した後、該第二型の微細形状面が露出している面上にUV硬化性樹脂を設け、続いて、該UV硬化性樹脂を硬化させた後、該UV硬化性樹脂を前記第二型から剥離することを特徴とする微細形状の転写方法。

IPC (5件)：

B29C 41/12 ,  G02B 1/04 ,  G02B 3/08 ,  G02B 5/18 ,  B29L 11:00

FI (4件)：

B29C 41/12 ,  G02B 1/04 ,  G02B 3/08 ,  G02B 5/18

Fターム (32件)：

2H049AA04 ,  2H049AA14 ,  2H049AA39 ,  2H049AA43 ,  2H049AA45 ,  2H049AA46 ,  4F205AA31 ,  4F205AA33 ,  4F205AA36 ,  4F205AA39 ,  4F205AA44 ,  4F205AB03 ,  4F205AB11 ,  4F205AC05 ,  4F205AD03 ,  4F205AD04 ,  4F205AD10 ,  4F205AF16 ,  4F205AH74 ,  4F205AR06 ,  4F205GA07 ,  4F205GB01 ,  4F205GC04 ,  4F205GC06 ,  4F205GF01 ,  4F205GF24 ,  4F205GN13 ,  4F205GN24 ,  4F205GN28 ,  4F205GN29 ,  4F205GW21 ,  4F205GW34