特許

J-GLOBAL ID：200903096166897842

露光装置及び露光方法

発明者： 田中 慶一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-152671
公開番号（公開出願番号）：特開2004-356415
出願日： 2003年05月29日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：

【課題】シンプルで実用的なプロキシミティブラインドを有する露光装置及び露光方法を提供する。【解決手段】本発明に係る露光装置の可動ブラインド装置100は、一対のL字型ブラインド板160、161を備えている。ブラインド板160、161は、ガイド軸兼カウンタマス111、113にスライド可能に設けられている。ブラインド板160、161は、インチワーム型の接触式非共振型超音波アクチュエータの駆動によって、X・Y・Z方向に移動可能である。これら一対のブラインド板160、161により、レチクルの露光領域を制限する矩形の開口が形成される。そして、ブラインド板160、161のそれぞれを独立に駆動させることにより、開口寸法と位置の設定を行うことができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

原版上に形成したパターンを感応基板に転写する露光装置であって、 前記原版の露光領域を制限する、該原版の近傍に配置された可動ブラインドを備え、 該可動ブラインドが、 協動して矩形の開口を形成する一対のL字型のブラインド板と、 前記開口の寸法及び/又は位置を変えるために、前記各ブラインド板をそれぞれ独立に駆動するブラインド板駆動手段と、 を有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (4件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 518 ,  H01L21/30 531A

Fターム (10件)：

5F046BA05 ,  5F046CB05 ,  5F046CB17 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01 ,  5F046DA06 ,  5F046GA03 ,  5F046GA14 ,  5F046GB03 ,  5F046GD10