特許

J-GLOBAL ID：200903096171282554

100nm以下の波長を濾光するための格子素子

発明者： クラウス・ハイデマン ,  カールフリート・オスターリート
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー
代理人 (4件)： 渡邊 隆 ,  志賀 正武 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-579308
公開番号（公開出願番号）：特表2005-521107
出願日： 2003年03月10日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：

本発明は、100nm以下の波長を濾光するための格子素子に関するものである。この格子素子は単体格子要素を多数有してなり、単体格子要素は格子周期を与える格子線を有している。本発明の特徴は、単体格子要素が、格子素子によって決まる平面に対して湾曲した表面上に、格子素子に当たる光束の光線の方向に順に並べて配列されていることである。湾曲した表面は、連続する多角形列によって規定される。単体格子要素は、格子線を備えた平らな格子表面をそれぞれ有している。

請求項（抜粋）：

100nm以下の波長を濾光するための格子素子であって、 格子周期を与える格子線を有した複数の単体格子要素(9.1,9.2,9.3,109.1,109.2,109.3,109.17,109.18)を備えている格子素子において、 前記単体格子要素(9.1,9.2,9.3,109.1,109.2,109.3,109.17,109.18)は、前記格子素子(1,2000)に当たる光束(100)の光線の方向において、前記格子素子(1,2000)によって張られる平面に対して湾曲した支持面上に順番に並べて配列されていることを特徴とする格子素子。

IPC (4件)：

G02B5/18 ,  G03F7/20 ,  G21K1/06 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G02B5/18 ,  G03F7/20 503 ,  G21K1/06 B ,  H01L21/30 531A

Fターム (16件)：

2H049AA07 ,  2H049AA08 ,  2H049AA18 ,  2H049AA32 ,  2H049AA34 ,  2H049AA37 ,  2H049AA51 ,  2H049AA58 ,  2H049AA63 ,  2H049AA64 ,  2H049AA66 ,  2H097LA10 ,  2H097LA17 ,  2H097LA20 ,  5F046CB08 ,  5F046GB07