特許

J-GLOBAL ID：200903096171548031

アルミナ質ベルジヤ-

発明者： 森田 敬司 ,  島井 駿蔵 ,  五十嵐 昇 ,  原田 晴司 ,  永坂 幸行 ,  安藤 和
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-016149
公開番号（公開出願番号）：特開平5-217946
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：

【要約】【目的】 この発明は、フッ化物ガスによる腐食が少なく、かつウェハ-の汚染も回避できて、しかもマイクロ波の吸収が少なくて寿命が長く、生産性に適するアルミナ質ベルジヤ-を得ようとするものである。【構成】 アルミナが99.9%以上、SiO2 が100ppm 未満、アルカリ金属酸化物が50ppm 以下の多結晶アルミナ質焼結体で、比重が3.96以上、平均結晶粒径が10μm 以上、1〜10GHz のマイクロ波で誘電体損失tan δが8×10- 4 以下であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

アルミナが99.9%以上、SiO2 が100ppm 未満、アルカリ金属酸化物が50ppm 以下の多結晶アルミナ質焼結体で、比重が3.96以上、平均結晶粒径が10μm 以上、1〜10GHz のマイクロ波で誘電体損失 tanδが8×10-4 以下であることを特徴とするアルミナ質ベルジヤ-。

IPC (2件)：

H01L 21/302 ,  C30B 25/08