特許
J-GLOBAL ID：200903096176761906
回路パターンの検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-075285
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258242
出願日： 1993年03月09日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 半導体基板上に形成された回路パターンの検査工程において、回路パターン形成の不備や欠陥等を、速やかにかつ漏れなく発見できるようにする。【構成】 2値画像メモリ1から送られてくる元回路パターンの参照領域の画像データと、画像処理部5から送られてくる半導体基板2上に実際に形成された実回路パターンの検査領域の画像データとを、画像切換部7により周期的に交互に切り換えて、2つの画像をモニタ8に互いに重ね合わせた状態で周期的に交互に繰り返し表示する。実回路パターンにおける欠陥部位がモニタ8に点滅して表示される。
請求項（抜粋）：
基板上に形成した回路パターンの検査を行うための回路パターンの検査装置であって、予め前記基板上に形成されるべき元の回路パターンの画像データを記憶する画像記憶手段と、前記元回路パターンに対応して前記基板上に実際に形成された回路パターンを撮影する撮影手段と、この撮影手段による前記実回路パターンの撮影情報に基づいて、その実回路パターンの画像データを構成する画像処理手段と、この画像処理手段により得た前記実回路パターンの検査領域の画像データに対応させて、前記画像記憶手段から前記元回路パターンの参照領域の画像データを読み出す制御手段と、前記画像処理手段により得られた前記実回路パターンの検査領域の画像データと、前記画像記憶手段から読み出された前記元回路パターンの参照領域の画像データとを、交互に切り換える画像切換手段と、この画像切換手段により交互に切り換えられた画像データに基づいて、前記実回路パターンの検査領域の画像と、前記元回路パターンの参照領域の画像とを、交互に繰り返して表示する画像表示手段と、を備えたことを特徴とする回路パターンの検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G06F 15/62 405
, H01L 21/66
