特許

J-GLOBAL ID：200903096176820430

基板の受渡し方法及び装置

発明者： 大勝 敏彦
出願人/特許権者： 鐘淵化学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-367570
公開番号（公開出願番号）：特開2001-180822
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：

【要約】【課題】基板の一面に形成された薄膜に悪影響を与えることなく、前記基板を被受渡し部分に自動的に受渡すことができる基板受渡し装置を得ることにある。【解決手段】太陽電池の基板Bをその透明電極層Aが形成された上面b1とは反対側の下面b2を支持して搬送するローラコンベア1に設けた受取り凹部3と、この凹部3と所定の被受渡し部分とにわたって基板Bを往復移動させる受渡し機11とを具備する。受取り凹部3はローラコンベア1の搬送終端に開放して形成される。受渡し機11は受取り凹部3と被受渡し部分とにわたって往復移動される吸着ヘッド12を有する。このヘッド12には1以上の真空吸着パッド22が取付けられている。吸着ヘッド12は、受取り凹部3に出入り可能で、受取り凹部3に搬送された基板Bの下面b2を吸着して基板Bを掬い上げ、被受渡し部分に向けて持ち運ぶことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

薄膜が形成された一面とは反対側の他面が支持されて搬送される基板を、所定搬送位置で受渡し機の吸着ヘッドにより真空吸着して所定の被受渡し部分に受渡す基板の受渡し方法において、前記基板の前記他面を前記吸着ヘッドで真空吸着して受渡しを行うことを特徴とする基板の受渡し方法。

IPC (5件)：

B65G 47/91 ,  B25J 15/00 ,  B25J 15/06 ,  B65G 49/06 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B65G 47/91 D ,  B25J 15/00 F ,  B25J 15/06 M ,  B65G 49/06 A ,  H01L 21/68 B

Fターム (41件)：

3C007DS05 ,  3C007DS07 ,  3C007FS01 ,  3C007FT06 ,  3C007FT11 ,  3C007FT17 ,  3C007FU02 ,  3C007GU01 ,  3C007GU03 ,  3C007NS09 ,  3F061AA03 ,  3F061AA06 ,  3F061CA01 ,  3F061CB02 ,  3F061CB05 ,  3F061CB13 ,  3F061CC03 ,  3F061DB04 ,  3F061DC01 ,  3F061DC03 ,  3F072AA16 ,  3F072GG01 ,  3F072KA26 ,  3F072KD03 ,  3F072KD09 ,  3F072KD17 ,  3F072KD24 ,  3F072KE01 ,  5F031CA04 ,  5F031FA02 ,  5F031FA21 ,  5F031GA08 ,  5F031GA36 ,  5F031GA45 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA53 ,  5F031JA10 ,  5F031JA22 ,  5F031JA47 ,  5F031KA15