イオナイザー用放電電極の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-258945
公開番号（公開出願番号）：特開平6-084581
出願日： 1992年09月02日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：

【要約】【目的】半導体のクリーンルームに使用するのに最適で、損傷しにくいイオナイザー用放電電極の製造方法を提供する。【構成】珪素からなる棒材11の外周面に、炭素を付着させ、加熱により炭素原子を珪素母材の珪素と反応させる。これにより、珪素母材より硬い炭化珪素層12を形成する。また、炭化珪素層12を形成する代わりに棒材の外面をエッチングして滑らかにしてもよい。

請求項（抜粋）：

珪素からなる棒材の外周面に炭素原子を含む材料を付着させ、次に棒材を加熱し、上記付着材料中の炭素原子を珪素母材の珪素と反応させることにより、珪素母材より硬い炭化珪素層を形成したことを特徴とするイオナイザー用放電電極の製造方法。

IPC (5件)：

H01T 19/04 , B03C 3/41 , C04B 35/56 101 , H01T 23/00 , H05F 3/04

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