特許
J-GLOBAL ID：200903096179491608
アクティブマトリクス基板の製造方法および液晶表示パネル
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-260091
公開番号（公開出願番号）：特開平11-095257
出願日： 1997年09月25日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】 データ線駆動回路および走査線駆動回路を静電気等から保護することのできるアクティブマトリクス基板の製造方法、この製造方法で製造したアクティブマトリクス基板、液晶表示パネル、および投写型液晶表示パネルを提供することにある。【解決手段】 信号配線72、73、走査線20、およびデータ線30に第1ないし第3の短絡用配線91、92、93をそれぞれ接続しておき、静電気などを第1ないし第3の短絡用配線91、92、93を介して基板外周側に拡散し、突発的な過剰な電流が走査線20、画素部11、走査線駆動回路部70、サンプルホールド回路S/H、およびデータ線駆動回路60に流れ込むのを防止する。アクティブマトリクス基板の製造工程が終了した後には、途中の工程を利用して切断用孔を形成し、この切断用孔を介してエッチングを行うことによって第1ないし第3の短絡用配線91、92、93を切断する。
請求項（抜粋）：
複数の走査線と複数のデータ線と、該データ線および前記走査線に接続する画素スイッチング用の薄膜トランジスタを備える画素部と、前記データ線および前記走査線にそれぞれ接続するデータ側駆動回路および走査線駆動回路と、該走査線駆動回路および前記データ線駆動回路を駆動するのに必要な複数の信号を供給するための複数の信号配線と、該信号配線に接続された複数の端子とを基板上に有し、前記薄膜トランジスタは、前記走査線と同時形成されたゲート電極と、第1の層間絶縁膜に形成された第1のコンタクトホールを介して前記データ線に電気的に接続するソース領域と、前記第1の層間絶縁膜および該第1の層間絶縁膜の上層側の第2の層間絶縁膜に形成された第2のコンタクトホールを介して画素電極が電気的に接続するドレイン領域とを備えるアクティブマトリクス基板の製造方法において、前記走査線および前記ゲート電極とともに前記信号配線の各々に電気的に接続する第1の短絡用配線を形成する兼用工程と、前記第1の短絡用配線上に第1の切断用孔を形成する工程と、前記第1の切断用孔を介して前記第1の短絡用配線を切断する工程とを有することを特徴とするアクティブマトリクス基板の製造方法。
IPC (5件)：
G02F 1/136 500
, G02B 5/30
, G02F 1/13 505
, G09F 9/00 309
, H01L 29/786
G02F 1/136 500
, G02B 5/30
, G02F 1/13 505
, G09F 9/00 309 Z
, H01L 29/78 612 C
