特許
J-GLOBAL ID：200903096182051341
タッチ信号プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-324326
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178608
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【目的】スタイラスが着脱可能であり、構造の小型化低コスト化を図るとともに信頼性及び精度の向上を図るタッチ信号プローブを提供する。【構成】可動部材6の第1の収れん部12A,固定部材3の第2の収れん部16A 及びこれらの収れん部12A,16A を所定の着座力で付勢する付勢手段17,18 を有し接触子4が所定の測定力で被測定物と接触する際に第1の収れん部12A が着座力に抗して第2の収れん部16A から離反し、かつ、接触子4の接触が解除された際に第1の収れん部12A が第2の収れん部16A に静止する着座機構7と、第1の収れん部12A が第2の収れん部16A に静止可能とされる第1姿勢と第1の収れん部12Aが第2の収れん部16A から外れて可動部材6の固定部材3からの離脱を許容する第2姿勢とに可動部材6の位置を切り換える位置規制機構8とを備えた。
請求項（抜粋）：
先端に被測定物と接触する接触子を有するスタイラスと、このスタイラスが取り付けられた可動部材と、プローブケースに取り付けられた固定部材と、前記可動部材に形成された第1の収れん部、前記固定部材に形成された第2の収れん部及びこの第2の収れん部に前記第1の収れん部を所定の着座力で付勢する付勢手段を有し前記接触子が所定の測定力で前記被測定物と接触する場合に前記第1の収れん部が前記着座力に抗して前記第2の収れん部から離反し、かつ、前記接触子の被測定物への接触が解除された場合に前記第1の収れん部が前記着座力で前記第2の収れん部に静止する着座機構と、前記第1の収れん部が前記第2の収れん部に静止可能とされる第1姿勢にあっては前記可動部材の移動範囲を制約して復帰を確実にし、前記第1の収れん部が前記第2の収れん部から外れて前記可動部材の前記固定部材からの離脱を許容する第2姿勢にあっては前記可動部材の移動範囲を機構的に制約しない位置に退避可能とする位置規制機構とを備えたことを特徴とするタッチ信号プローブ。
IPC (3件)：
G01B 7/00
, G01B 21/00
, H01L 41/08
