特許
J-GLOBAL ID：200903096191881926
カンチレバ加振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田中 隆秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-212715
公開番号（公開出願番号）：特開平10-054835
出願日： 1996年08月12日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：
【要約】【課 題】 制御し易い大きさの印加電圧により加振用の圧電体を適切な振幅で安定して発振できるようにすること。【解決手段】 圧電体(28,29)の接合面(28a,29a)を互いに接合して構成しこれを挟んで互いに反対側にある被支持部27aおよびカンチレバ支持部27bを有する複合圧電体27と、前記複合圧電体27の前記被支持部27aを支持する複合圧電体支持部材26と、前記複合圧電体27のカンチレバ支持部27bにより基端部が支持され且つ先端部がプローブ12を支持するカンチレバ8と、前記複合圧電体27を構成する一対の圧電体(28,29)の中の一方を前記接合面(28a,29a)に垂直な方向に伸長させ且つ他方を縮小させるように電圧を印加する電圧印加手段(16+17+18+19)とから構成されるカンチレバ加振装置。
請求項（抜粋）：
下記の要件を備えたことを特徴とするカンチレバ加振装置、(A01)圧電体の接合面を互いに接合して構成された複合圧電体、(A02)前記接合面を挟んで互いに反対側に有る被支持部およびカンチレバ支持部を有する前記複合圧電体、(A03)前記複合圧電体の前記被支持部を支持する複合圧電体支持部材、(A04)前記複合圧電体のカンチレバ支持部により基端部が支持され且つ先端部がプローブを支持するカンチレバ、(A05)前記複合圧電体を構成する一対の圧電体の中の一方を前記接合面に垂直な方向に伸長させ且つ他方を収縮させるように電圧を印加する電圧印加手段。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
