特許

J-GLOBAL ID：200903096198500979

結晶引上げ用るつぼおよび結晶引上げ用部品

発明者： 鹿野 正人 ,  竹村 薫
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社 ,  住友シチックス株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-109246
公開番号（公開出願番号）：特開平10-297992
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】【課題】 黒鉛るつぼ内に石英るつぼを嵌合させた構造を有する単結晶引上げ用るつぼにおいて、石英るつぼの座屈変形が生じない構造を提供する。【解決手段】 単結晶引上げ用るつぼ10は、黒鉛るつぼ12と、その中に嵌合された石英るつぼ14とからなる。黒鉛るつぼ12には、貫通孔16が複数形成されている。貫通孔16は、使用時の初期に結晶引上げのための融液面がくるべき位置よりも上方にのみ形成される。貫通孔16は、石英るつぼ14と黒鉛るつぼ12との反応により発生するガスを外に放散させて、ガス圧によって石英るつぼ14が変形するのを防止する。

請求項（抜粋）：

黒鉛からなる外容器内に石英からなる内容器が嵌合されてなる結晶引上げ用るつぼにおいて、前記外容器の側壁には、前記外容器の外側から前記内容器に通じる貫通孔が複数形成されており、前記貫通孔は、使用時の初期に結晶引上げのための融液面がくるべき位置よりも上方にのみ形成されていることを特徴とする、結晶引上げ用るつぼ。

IPC (2件)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502

FI (2件)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502 B