特許
J-GLOBAL ID：200903096208186402
誘電体バリア放電ランプ照射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-341112
公開番号（公開出願番号）：特開2000-149629
出願日： 1998年11月13日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：
【要約】【課題】 長時間点灯や不十分な窒素置換率などの条件下においても、UV強度の低下が少なく実用的な誘電体バリヤ放電ランプ照射装置を提供する。【解決手段】 放電によってエキシマ分子を形成するガスを充填し、エキシマ分子から光を放射する放電ランプと光を制御する反射板と光を取り出す窓から構成された照射装置において、窓部材である石英ガラスのOH基含有量を重量で600ppm以上とした誘電体バリア放電ランプ照射装置。
請求項（抜粋）：
放電によってエキシマ分子を形成するガスを充填し、該エキシマ分子から光を放射する放電ランプと光を制御する反射板と光を取り出す窓から構成された照射装置において、窓部材である石英ガラスのOH基含有量を重量で600ppm以上としたことを特徴とした誘電体バリア放電ランプ照射装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F21V 3/04 A
, F21V 7/22 C
