特許
J-GLOBAL ID：200903096208894997
走査形トンネル顕微鏡における光検出方式
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 健二 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-327218
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166604
出願日： 1995年12月15日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【目的】STMの極めて狭い領域において試料からの光を小型の検出手段でしかもより高い検出効率で検出する。【構成】スキャナ4内には光ファイバ20が配設されているとともに、スキャナ4の先端に小型のレンズ22が組み込まれたレンズホルダ21が着脱可能に取り付けられている。レンズホルダ21がスキャナ4に取り付けられた状態では、レンズ22と光ファイバ20の端面とが対向し、かつレンズ22の焦点位置が光ファイバ20の端面となるように設定されている。したがって、レンズ22に入ってくる光はこのレンズ22により光ファイバ20の端面にその焦点が結ばれ、これにより試料2から発光された光がレンズ22により効率よく集光され、光ファイバ20により伝送される。
請求項（抜粋）：
試料表面に対向して配設される探針と、前記探針を保持するとともに前記探針の前記試料表面に対する相対位置を制御するスキャナと、前記探針と前記試料との間に電圧を印加するバイアス電圧印加手段と、前記試料から発する光を検出する光検出手段を少なくとも備え、前記バイアス電圧印加手段により前記探針と前記試料との間に電圧を印加したとき、前記探針と前記試料との間に流れるトンネル電流を制御することにより前記試料表面を観察するとともに、前記光検出手段によって前記試料から発せられた光を検出するようになっている走査形トンネル顕微鏡において、前記探針は前記スキャナの前記試料に対向する端部に着脱可能に取り付けられる第1ホルダに保持されており、前記光検出手段は、前記スキャナの前記端部に着脱可能に取り付けられる第2ホルダに保持されて前記試料からの前記光を集光するレンズと、前記スキャナに設けられ前記レンズにより集光された光を伝達する光伝送手段とからなり、前記試料から発せられた光を前記レンズを介して検出することを特徴とする走査形トンネル顕微鏡における光検出方式。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, H01J 37/28
G01N 37/00 B
, G01B 7/34 Z
, H01J 37/28 Z
